Jón T. Guðmundsson og Sveinn Ólafsson

Móttekin: 22. apríl 2003 - Vefútgáfa: 21. maí 2003

Ágrip

Þunnar húðir eru ræktaðar á bolefni (undirlag) til að fá fram nýja eiginleika sem ekki eru til staðar í bolefninu. Að auki má fram ýmsa eiginleika með því að rækta nokkur lög ólíkra efna. Fjallað er um tvær aðferðir til ræktunar þunnra hálfleiðandi húða; lagvöxt úr vökvafasa og ræktun með sameindaúðun. Ræktun þunnra húða með útfellingu úr vökvafasa er gjarnan notuð til að rækta III-V hálfleiðara og skyld melmi eins og GaAs og AlxGa1-xAs. Með sameindaúðun má rækta húðir sem eru örfá atómlög að þykkt með afar nákvæmri stýringu á íbót og efnasamsetningu.

pdf sækja grein (pdf) [raust.is/2003/1/01/]