sækja grein (pdf)
[raust.is/2006/1/12/]
Móttekin: 21. febrúar 2006 - Vefútgáfa: 31. desember 2006
Rafgas er mikið notað í hálfleiðaraiðnaði, ýmist til að hreinsa yfirborð sýna eða til að rækta þunnar húðir á þau. Greinin fjallar um rafgasætingartæki sem var smíðað á eðlisfræðistofu Raunvísindastofnunar Háskólans. Lofttæmiklefi var byggður inn í venjulegan örbylgjuofn til eldhúsnota. Örbylgjurnar kveikja og viðhalda rafgasi í klefanum sem inniheldur argon og/eða súrefni. Rafgasið er notað til að hreinsa óhreinindi og lífrænar húðir af sýnum, til dæmis fjölliður sem notaðar eru við litógrafíu (e.~resist).
sækja grein (pdf)
[raust.is/2006/1/12/]