Jón Tómas Guðmundsson

Móttekin: 21. juní 2004 - Vefútgáfa: 10. nóvember 2004

Ágrip

Segulspætur eru mikilvægar í iðnaði og grunnrannsóknum sem tól til ræktunar þunnra húða. Með segulspætu má rækta þunnar húðir úr bæði málmum og einangrurum. Í segulspætu er jónum hraðað úr rafgasi að skotmarki og atómum spætt úr því. Skotmarkið ásamt gasinu í klefanum ákvarðar efnasamsetningu húðarinnar. Með hvarfaspætun má rækta oxíð, nítríð og karbíð. Fjallað er um grunnuppbyggingu spæta og segulspæta. Ræddar eru takmarkanir á segulspætutækninni og reifaðar þær lausnir sem þróaðar hafa verið til endurbóta svo sem púlsun aflgjafa, ójafnvægi í segulflæði og aukna jónun spættra atóma.

pdf sækja grein (pdf) [raust.is/2004/2/05/]